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半導體芯片制造廢水處理設備


半導體芯片制造廢水處理設備

? ? ?羽杰科技研發生產的真空低溫蒸發半導體芯片制造廢水處理設備通過主要功能是在真空負壓作用下把蒸發沸點降低,使原液加熱后在30°沸騰蒸餾,蒸餾出來的蒸汽經過冷凝系統凝結成液態水通過排水系統排出到制定收集桶,根據處理的廢水不同濃縮減量出水率可以達到70-95%。通過羽杰科技生產的真空低溫蒸發半導體芯片制造廢水處理設備濃縮減量處(chu)(chu)理,處(chu)(chu)理后的廢(fei)水滿足GB/T 31962-2015中A級(ji)標(biao)準排放(fang)要(yao)求,可排放(fang)可回用(yong),達到減輕企業廢(fei)液(ye)處(chu)(chu)理的成(cheng)本(ben)。

羽杰科技芯片廢水處理設備

?? ? ?在半導體制造技術中,通過一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導體芯片,然后將所述半導體芯片進行封裝和電性測試,并最終形成終端產品。目前,在半導體芯片的制造過程中,會產生大量的工業廢水且芯片制造生產工藝復雜,包括硅片清洗、化學氣相沉積、刻蝕等工序反復交叉,生產中使用了大量的化學試劑如HF、H2SO4、NH3?H2O等。所以一般芯片制造廢水處理系統有含氨廢水處理系統+含氟廢水處理系統+CMP研磨廢水處理系統

? ? ? 在現有的(de)廢水處(chu)理(li)過程中(zhong),通(tong)常單獨使(shi)用(yong)序列間(jian)歇式活(huo)性污泥法(fa)(SBR)或(huo)生物(wu)(wu)接(jie)觸氧化法(fa)或(huo)曝(pu)氣生物(wu)(wu)濾(lv)池(BAF),均(jun)只能對廢水進行單一(yi)的(de)處(chu)理(li),例如為過濾(lv)或(huo)微生物(wu)(wu)反應或(huo)去除毒性等(deng),由(you)于處(chu)理(li)方(fang)式過于單一(yi),這常常導致過濾(lv)物(wu)(wu)質很快堵(du)塞的(de)問題。因(yin)此,廢水處(chu)理(li)仍有改善的(de)空間(jian)。

? ? ?羽杰科技(ji)的廢水處理(li)(li)設備主要目的在于提(ti)供(gong)一種(zhong)芯(xin)片生產線的廢水處理(li)(li)方法(fa),以解(jie)決現有技(ji)術(shu)存在的處理(li)(li)方式過于單一,這常常導致過濾物質很快(kuai)堵塞(sai)的問題(ti)。

? ? ? 羽(yu)杰科(ke)技研(yan)發(fa)生產的真空低(di)溫蒸(zheng)發(fa)半導體芯片制(zhi)造廢水(shui)(shui)(shui)處理(li)(li)(li)(li)設(she)備通(tong)(tong)過(guo)主要功能(neng)是在真空負壓作用下把蒸(zheng)發(fa)沸(fei)點降(jiang)低(di),使原液(ye)(ye)加熱后在30°沸(fei)騰蒸(zheng)餾,蒸(zheng)餾出來的蒸(zheng)汽經過(guo)冷凝系(xi)統凝結成液(ye)(ye)態水(shui)(shui)(shui)通(tong)(tong)過(guo)排水(shui)(shui)(shui)系(xi)統排出到制(zhi)定收集桶,根據(ju)處理(li)(li)(li)(li)的廢水(shui)(shui)(shui)不同濃縮(suo)減量出水(shui)(shui)(shui)率可以(yi)達到70-95%。通(tong)(tong)過(guo)羽(yu)杰科(ke)技生產的低(di)溫真空蒸(zheng)發(fa)器設(she)備濃縮(suo)減量處理(li)(li)(li)(li),可以(yi)減輕企業廢液(ye)(ye)處理(li)(li)(li)(li)的成本。


半導體芯片制造廢水處理設備用途:

  1、經濟效益方面:能大大節(jie)省(sheng)委外廢水的(de)數(shu)量和花費,可為企業(ye)節(jie)省(sheng)9成的(de)廢水處(chu)(chu)理的(de)委外處(chu)(chu)理成本;

  2、環(huan)保(bao)效益方(fang)面:使(shi)廢(fei)棄的高濃度(du)有(you)機(ji)廢(fei)水能夠(gou)多(duo)次再生循環(huan)利用,羽杰科技低溫(wen)蒸發器(qi)設備廢(fei)水處理設備還幫您減少了(le)廢(fei)水對環(huan)境的污染和破壞;

  3、公司(si)(si)形(xing)象方面:節能環保,不但是部門越來越重視的政策趨勢,還能增加客戶對(dui)公司(si)(si)的認可度(du),為公司(si)(si)形(xing)象加分。

  半(ban)導體芯片制造廢水處理(li)設備優勢

  1、全不(bu)銹鋼結構,整機和設(she)備部(bu)件(jian)防(fang)(fang)爆(bao)安全設(she)計,電器采用有防(fang)(fang)爆(bao)資(zi)質廠家(jia)的(de)防(fang)(fang)爆(bao)電控(kong)箱,安全使用。

  2、標準化(hua)批量生產,品質有保障(zhang),油(you)水分離(li),省錢(qian)省心(xin)。

  3、回收流程(cheng)簡單,機器(qi)操(cao)作便捷,普通員工(gong)短期培(pei)訓(xun),即可(ke)安全(quan)操(cao)作。

  4、超低(di)的(de)機(ji)器維護成本(ben),機(ji)器性能穩定,耐用,維護簡單,耗材少(shao)。

  5、多(duo)重(zhong)運行安全保護功能:定時關機功能,機器運行達到(dao)預設時長時,則自動停機。回收的(de)高(gao)濃度有機廢(fei)水品(pin)質(zhi)高(gao):色正(zheng)、清澈、純凈。

  6、超(chao)高(gao)溫保護(hu)(hu)功(gong)能:在設定的(de)溫定范圍內(nei)運行,有(you)效防止加(jia)熱溫度過高(gao);高(gao)壓保護(hu)(hu)功(gong)能;桶(tong)內(nei)壓力過高(gao)時,安全閥將自動泄壓,確保安全。

  7、停(ting)電保護功能:突然停(ting)電時,機(ji)器立(li)即自動關機(ji),防(fang)止再次(ci)供電時機(ji)器繼續運行。

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  半導體芯片制造廢水處理設備使用流程

  1、接通電(dian)(dian)源,(不包(bao)括自動加料裝(zhuang)置情(qing)況下)打(da)開(kai)桶(tong)蓋,倒入(ru)臟溶液(ye),蓋緊(jin)桶(tong)蓋,打(da)開(kai)電(dian)(dian)源。

  2、機器(qi)加熱(re)達到工業(ye)廢(fei)水(shui)沸點溫(wen)度,工業(ye)廢(fei)水(shui)受熱(re)蒸發而(er)與不可蒸發的雜(za)質分離。

  3、蒸汽工業(ye)廢(fei)水進(jin)入到冷凝系統,通過防爆風機(ji)散熱(re)(也可(ke)以選擇水冷降(jiang)溫)液化后,干凈(jing)的處理(li)水,流入廢(fei)水收集桶。

  4、回(hui)收桶內工(gong)業廢(fei)水被蒸(zheng)干(可控制是否蒸(zheng)干)后(hou),傾(qing)倒(dao)入回(hui)收桶(可選下排(pai)),清理(li)桶內殘渣。


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