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半導體芯片制造廢水處理設備


半導體芯片制造廢水處理設備

? ? ?羽杰科技研發生產的真空低溫蒸發半導體芯片制造廢水處理設備通過主要功能是在真空負壓作用下把蒸發沸點降低,使原液加熱后在30°沸騰蒸餾,蒸餾出來的蒸汽經過冷凝系統凝結成液態水通過排水系統排出到制定收集桶,根據處理的廢水不同濃縮減量出水率可以達到70-95%。通過羽杰科技生產的真空低溫蒸發半導體芯片制造廢水處理設備濃縮減(jian)量處(chu)理(li),處(chu)理(li)后的廢水滿足(zu)GB/T 31962-2015中A級標準排放(fang)要求(qiu),可排放(fang)可回(hui)用,達到減(jian)輕企業廢液(ye)處(chu)理(li)的成本。

羽杰科技芯片廢水處理設備

?? ? ?在半導體制造技術中,通過一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導體芯片,然后將所述半導體芯片進行封裝和電性測試,并最終形成終端產品。目前,在半導體芯片的制造過程中,會產生大量的工業廢水且芯片制造生產工藝復雜,包括硅片清洗、化學氣相沉積、刻蝕等工序反復交叉,生產中使用了大量的化學試劑如HF、H2SO4、NH3?H2O等。所以一般芯片制造廢水處理系統有含氨廢水處理系統+含氟廢水處理系統+CMP研磨廢水處理系統

? ? ? 在現有的廢水處(chu)理過程中,通常單獨使(shi)用序(xu)列間歇式活性污泥法(fa)(SBR)或生物接觸氧化法(fa)或曝氣(qi)生物濾(lv)池(chi)(BAF),均只能對(dui)廢水進(jin)行單一的處(chu)理,例(li)如為(wei)過濾(lv)或微生物反(fan)應或去除毒性等,由于處(chu)理方式過于單一,這常常導致(zhi)過濾(lv)物質很快堵塞的問題(ti)。因此,廢水處(chu)理仍有改善的空間。

? ? ?羽杰科技的廢(fei)水處(chu)理設備主要目的在于提(ti)供(gong)一(yi)種(zhong)芯片生產線的廢(fei)水處(chu)理方法,以解決(jue)現(xian)有技術存(cun)在的處(chu)理方式過(guo)于單一(yi),這常常導致過(guo)濾物質很快堵塞的問題。

? ? ? 羽杰科技研發(fa)生(sheng)產的(de)真空(kong)低(di)溫(wen)蒸(zheng)發(fa)半導體(ti)芯片制造廢(fei)水(shui)(shui)處(chu)理設(she)備通(tong)過主要(yao)功能(neng)是在真空(kong)負壓(ya)作用下把蒸(zheng)發(fa)沸點降(jiang)低(di),使原液加熱后在30°沸騰蒸(zheng)餾(liu),蒸(zheng)餾(liu)出(chu)來的(de)蒸(zheng)汽經過冷凝系(xi)統凝結成液態水(shui)(shui)通(tong)過排(pai)水(shui)(shui)系(xi)統排(pai)出(chu)到制定收集(ji)桶,根據處(chu)理的(de)廢(fei)水(shui)(shui)不同(tong)濃(nong)縮減(jian)(jian)量出(chu)水(shui)(shui)率可以達到70-95%。通(tong)過羽杰科技生(sheng)產的(de)低(di)溫(wen)真空(kong)蒸(zheng)發(fa)器設(she)備濃(nong)縮減(jian)(jian)量處(chu)理,可以減(jian)(jian)輕(qing)企業廢(fei)液處(chu)理的(de)成本。


半導體芯片制造廢水處理設備用途:

  1、經濟(ji)效益方面:能大(da)大(da)節(jie)省委(wei)外廢水的數量和花費,可(ke)為企業節(jie)省9成的廢水處理(li)(li)的委(wei)外處理(li)(li)成本(ben);

  2、環保效(xiao)益(yi)方(fang)面(mian):使廢棄的高濃(nong)度有(you)機(ji)廢水能(neng)夠(gou)多次再生循環利用,羽杰科(ke)技低溫蒸發器設(she)備(bei)廢水處理設(she)備(bei)還幫您減(jian)少了廢水對(dui)環境的污染和(he)破壞;

  3、公司(si)(si)形象方面:節能環(huan)保,不但是部門越來(lai)越重視的政策趨勢(shi),還能增加(jia)客戶(hu)對公司(si)(si)的認可度,為公司(si)(si)形象加(jia)分(fen)。

  半(ban)導體芯片(pian)制造廢水處理設備(bei)優勢(shi)

  1、全不銹鋼結構,整(zheng)機和設(she)備部件(jian)防爆安(an)全設(she)計,電(dian)(dian)器(qi)采用(yong)有(you)防爆資質廠家的防爆電(dian)(dian)控箱,安(an)全使(shi)用(yong)。

  2、標(biao)準(zhun)化(hua)批量(liang)生產,品質有保障,油水分(fen)離,省(sheng)錢省(sheng)心。

  3、回收流程簡(jian)單,機器操作便(bian)捷,普通員(yuan)工(gong)短期培(pei)訓(xun),即可(ke)安全操作。

  4、超低的機(ji)器維(wei)護(hu)(hu)成本,機(ji)器性能穩定(ding),耐用,維(wei)護(hu)(hu)簡單(dan),耗材少。

  5、多重(zhong)運行安全保護功(gong)能:定時(shi)關(guan)機(ji)功(gong)能,機(ji)器運行達到預設時(shi)長時(shi),則自動停機(ji)。回收的高(gao)濃度有機(ji)廢水(shui)品(pin)質高(gao):色正、清(qing)澈、純凈。

  6、超高(gao)溫保護(hu)功能:在設定(ding)的溫定(ding)范(fan)圍(wei)內運(yun)行,有(you)效(xiao)防止(zhi)加(jia)熱(re)溫度過高(gao);高(gao)壓保護(hu)功能;桶內壓力過高(gao)時,安全閥將(jiang)自動泄壓,確(que)保安全。

  7、停(ting)電保護功能:突然停(ting)電時(shi),機器立(li)即自(zi)動關(guan)機,防止再次供電時(shi)機器繼續運行。

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  半導體芯片制造廢水處理設備使用流程

  1、接通電源,(不包括(kuo)自動加(jia)料裝置情況下(xia))打開桶(tong)蓋(gai),倒(dao)入臟溶液,蓋(gai)緊(jin)桶(tong)蓋(gai),打開電源。

  2、機器加熱達到工(gong)業(ye)廢(fei)水沸點溫(wen)度(du),工(gong)業(ye)廢(fei)水受熱蒸發(fa)而與不可蒸發(fa)的雜(za)質分(fen)離。

  3、蒸汽工業廢水(shui)進(jin)入到冷凝系統,通過防(fang)爆風機散熱(也(ye)可以選擇水(shui)冷降溫)液化后,干凈的(de)處理水(shui),流入廢水(shui)收集桶(tong)。

  4、回收(shou)桶(tong)內工業廢水被蒸干(gan)(可控制(zhi)是否(fou)蒸干(gan))后,傾倒入回收(shou)桶(tong)(可選下排),清理(li)桶(tong)內殘渣。


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