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半導體芯片制造廢水處理設備


半導體芯片制造廢水處理設備

? ? ?羽杰科技研發生產的真空低溫蒸發半導體芯片制造廢水處理設備通過主要功能是在真空負壓作用下把蒸發沸點降低,使原液加熱后在30°沸騰蒸餾,蒸餾出來的蒸汽經過冷凝系統凝結成液態水通過排水系統排出到制定收集桶,根據處理的廢水不同濃縮減量出水率可以達到70-95%。通過羽杰科技生產的真空低溫蒸發半導體芯片制造廢水處理設備濃縮(suo)減(jian)(jian)量處理,處理后的廢水滿足GB/T 31962-2015中A級標(biao)準排放要求,可排放可回用(yong),達(da)到減(jian)(jian)輕企業廢液處理的成本(ben)。

羽杰科技芯片廢水處理設備

?? ? ?在半導體制造技術中,通過一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導體芯片,然后將所述半導體芯片進行封裝和電性測試,并最終形成終端產品。目前,在半導體芯片的制造過程中,會產生大量的工業廢水且芯片制造生產工藝復雜,包括硅片清洗、化學氣相沉積、刻蝕等工序反復交叉,生產中使用了大量的化學試劑如HF、H2SO4、NH3?H2O等。所以一般芯片制造廢水處理系統有含氨廢水處理系統+含氟廢水處理系統+CMP研磨廢水處理系統

? ? ? 在現有的(de)廢(fei)水(shui)處理過(guo)程中,通常單獨使用序列(lie)間歇式(shi)活性污泥法(SBR)或生(sheng)物(wu)接(jie)觸(chu)氧化法或曝氣生(sheng)物(wu)濾(lv)池(BAF),均只能對廢(fei)水(shui)進行單一(yi)的(de)處理,例如(ru)為過(guo)濾(lv)或微生(sheng)物(wu)反應或去除毒(du)性等,由于處理方(fang)式(shi)過(guo)于單一(yi),這(zhe)常常導致過(guo)濾(lv)物(wu)質很(hen)快堵塞的(de)問題。因(yin)此(ci),廢(fei)水(shui)處理仍(reng)有改善的(de)空間。

? ? ?羽杰科(ke)技的廢(fei)水處(chu)理(li)設備主(zhu)要(yao)目的在于提供(gong)一(yi)種芯片生產線的廢(fei)水處(chu)理(li)方(fang)法,以解決現(xian)有技術存在的處(chu)理(li)方(fang)式過于單一(yi),這常常導致過濾物(wu)質(zhi)很快堵塞的問題。

? ? ? 羽杰科(ke)技(ji)研發(fa)(fa)(fa)生產的真空低(di)(di)溫蒸(zheng)發(fa)(fa)(fa)半導體芯片(pian)制造廢水處理設備(bei)通過(guo)主要功能(neng)是在(zai)真空負壓作用下把蒸(zheng)發(fa)(fa)(fa)沸(fei)點降低(di)(di),使原液加熱(re)后在(zai)30°沸(fei)騰蒸(zheng)餾,蒸(zheng)餾出(chu)來的蒸(zheng)汽經(jing)過(guo)冷(leng)凝系(xi)統凝結成(cheng)液態水通過(guo)排(pai)水系(xi)統排(pai)出(chu)到(dao)制定收集桶,根據(ju)處理的廢水不同濃縮(suo)減(jian)量出(chu)水率可以(yi)達到(dao)70-95%。通過(guo)羽杰科(ke)技(ji)生產的低(di)(di)溫真空蒸(zheng)發(fa)(fa)(fa)器設備(bei)濃縮(suo)減(jian)量處理,可以(yi)減(jian)輕企(qi)業廢液處理的成(cheng)本。


半導體芯片制造廢水處理設備用途:

  1、經濟(ji)效益方(fang)面:能大大節省(sheng)委外廢(fei)(fei)水(shui)的(de)數量和花費,可為(wei)企業(ye)節省(sheng)9成(cheng)(cheng)的(de)廢(fei)(fei)水(shui)處(chu)理(li)的(de)委外處(chu)理(li)成(cheng)(cheng)本;

  2、環(huan)保(bao)效益方面(mian):使廢棄(qi)的高濃度有機(ji)廢水(shui)能(neng)夠多次再生循環(huan)利用,羽杰科技低(di)溫蒸發器設備廢水(shui)處(chu)理設備還幫您減少了廢水(shui)對環(huan)境的污染和破(po)壞;

  3、公(gong)司形象方面:節能環保,不但是部門越來越重視的(de)(de)政策趨勢,還(huan)能增(zeng)加(jia)客(ke)戶對公(gong)司的(de)(de)認可度(du),為(wei)公(gong)司形象加(jia)分。

  半導體芯片制造廢水處理設備優勢

  1、全(quan)不銹(xiu)鋼結構,整機和設備部件防爆安全(quan)設計(ji),電器采用有防爆資(zi)質(zhi)廠家的防爆電控(kong)箱,安全(quan)使用。

  2、標準化(hua)批量生產,品質有(you)保障(zhang),油水分離,省錢省心。

  3、回收流程簡單,機器(qi)操作便捷,普通員工短期培訓,即可(ke)安全操作。

  4、超(chao)低(di)的機器維(wei)護成本(ben),機器性能(neng)穩定,耐用(yong),維(wei)護簡單,耗材(cai)少。

  5、多(duo)重運行安(an)全(quan)保(bao)護功能:定時(shi)關(guan)機功能,機器運行達(da)到預設時(shi)長時(shi),則(ze)自動(dong)停機。回收的高濃度有機廢水品質高:色(se)正、清澈、純凈。

  6、超高溫(wen)保(bao)(bao)護功能(neng):在(zai)設定(ding)的溫(wen)定(ding)范圍內運行,有效防止加熱溫(wen)度過(guo)高;高壓保(bao)(bao)護功能(neng);桶內壓力過(guo)高時,安全(quan)閥將自動泄壓,確保(bao)(bao)安全(quan)。

  7、停(ting)電保護(hu)功能:突然停(ting)電時(shi),機(ji)(ji)器(qi)立即自動關機(ji)(ji),防止再次供電時(shi)機(ji)(ji)器(qi)繼續(xu)運行。

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  半導體芯片制造廢水處理設備使用流程

  1、接通電(dian)源,(不包括自動加料裝(zhuang)置情況下(xia))打開桶蓋,倒入臟溶液,蓋緊(jin)桶蓋,打開電(dian)源。

  2、機器加熱(re)達到工(gong)業廢水沸點溫度,工(gong)業廢水受熱(re)蒸發而與不可蒸發的雜質分離。

  3、蒸(zheng)汽工業廢水進(jin)入到冷凝(ning)系統,通過防(fang)爆風機散熱(也可以選擇水冷降溫)液化后,干凈的處理水,流入廢水收(shou)集桶(tong)。

  4、回(hui)收(shou)桶內工業廢水被蒸干(gan)(gan)(可(ke)控制是否蒸干(gan)(gan))后,傾倒入回(hui)收(shou)桶(可(ke)選(xuan)下排),清理桶內殘渣。


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